Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study
Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study

Understanding Key Molecular Properties in a CVD Process Feasibility Study

Buch, Englisch, 210 Seiten

Autor: Dr. Rolf Claessen

Erscheinungsdatum: 2001

ISBN: 3831142742


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This book examines the rationale of precursor design for a CVD (Chemical Vapor Deposition) process. The effect of molecular properties on the CVD process outcome is investigated experimentally and computationally. A novel class of ligands and resulting complexes is demonstrated as an example of tailormade precursors for CVD processes.
Key properties such as thermal decomposition and volatility are shown to be independently tunable and can be adjusted to the individual process needs.

 

Dieses Buch untersucht das Grundprinzip des Designs von Vorläufermolekülen für CVD Prozesse. Der Effekt von molekularen Eigenschaften dieser Moleküle auf den CVD Prozess wird sowohl experimentell als auch theoretisch erforscht.
Eine neuartige Klasse von Liganden und resultierenden Komplexen wird als Beispiel für massgeschneiderte Vorläufermoleküle für CVD Prozesse demonstriert. Haupteigenschaften wie z.B. thermische Zersetzung und Flüchtigkeit können unabhängig eingestellt werden und auf den individuellen CVD Prozess abgestimmt werden.

Dr. Rolf Claessen

DE, Köln

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